Dans ces travaux de thèse, nous avons travaillé à l'identification des espèces chimiques jouant un rôle dans le dépôt des couches minces par procédés plasmas d'un précurseur organométallique, le ZTB, pour comprendre le mode de croissance tridimensionnelle en nano-colonnes apparu dans des travaux précédents. Ces espèces sont issues de la décomposition plasma du précurseur ainsi que des réactions aux parois et ont été identifiées à l'aide de mesures par MS et FTIR. Une fois la décomposition du précurseur correctement décrite, les paramètres plasma ont été ajustés (par l'ajout d'un fort taux d'oxygène) pour refléter les conditions donnant lieu à une croissance colonnaire. L'analyse de la phase plasma a permis de montrer que la fragmentation du précurseur n'est pas modifiée en présence d'oxygène. Les couches minces élaborées dans ces différentes conditions ont été analysées par XPS, MEB et FTIR. De cette façon il a été possible de lier les fragmentations au sein du plasma et les interactions de recombinaison sur les surfaces avec les interactions responsables de la formation des couches minces. |
In this thesis, the understanding of a tridimensional growth mode calls for the identification of the chemical species that play a role in the deposition of the thin films from a metalorganic precursor, ZTB. These species originate from the plasma decomposition of the precursor and the reactions on the walls and have been identified by MS and FTIR analysis. Once the decomposition of the precursor correctly described, the plasma parameters were adjusted (by adding high levels of oxygen) to reflect the conditions giving rise to a columnar growth. Analysis of the plasma phase has shown that the fragmentation of the precursor is not changed by the presence of oxygen. The thin layers deposited in these different conditions were analyzed by XPS, MEB and FTIR to link the fragmentation within the plasma and the interactions on the surfaces of recombination with the interactions responsible for the formation of thin films. |