Soutenance de thèse de Cedric MASTAIL
Modélisation et simulation du dépôt des oxydes à forte permittivité par la technique du Monte Carlo Cinétique
| Titre anglais : | Modeling and simulation of High-k oxides deposition by kinetic Monte Carlo method |
| Ecole Doctorale : |
SDM - SCIENCES DE LA MATIERE - Toulouse |
| Spécialité : | Physique de la Matière |
| Etablissement : | Université de Toulouse |
| Unité de recherche : | UPR 8001 - LAAS - Laboratoire d'Analyse et d'Architecture des Systèmes |
| Direction de thèse : | Mehdi DJAFARI-ROUHANI |
Cette soutenance
a eu lieu mercredi 09 décembre 2009 à
10h30Adresse de la soutenance : LAAS/CNRS 7 avenue du Colonel Roche 31077 Toulouse - salle Europe
devant le jury composé de :
| Jean-Luc LERAY |
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Directeur de recherche |
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CEA GIF SUR YVETTE |
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Rapporteur |
| Guy TREGLIA |
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Directeur recherche CNRS |
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CINAM/CNRS DE MARSEILLE |
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Rapporteur |
| Simon ELLIOTT |
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Chercheur |
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TYNDALL IRLANDE |
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Examinateur |
| François JOLLET |
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Directeur de Recherche |
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CEA/DAM LE CHATEL |
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Examinateur |
| Ardeichein PAKFAR |
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Ingénieur |
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ST MICROELECTRONIQUE CROLLES |
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Examinateur |
| Alain CLAVERIE |
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Directeur de Recherche |
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CEMES/CNRS TOULOUSE |
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Examinateur |
| Alain ESTEVE |
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Chargé de recherche |
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LAAS/CNRS TOULOUSE |
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Directeur de thèse |
| Mehdi DJAFARE ROUHANI |
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Professeur |
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LAAS/CNRS TOULOUSE |
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Directeur de thèse |